本發(fā)明公開了一種超純水機(jī)的內(nèi)部系統(tǒng)清洗消毒裝置，包括通過管路依次連接的自來水進(jìn)水閥門，活性炭保安過濾器、高壓泵、反滲透裝置，用以盛放經(jīng)反滲透裝置制的純水的純水箱，在純水箱的底部設(shè)置純水箱地漏閥門，用于排放廢水；在純水箱后級依次連接純水循環(huán)泵和單向閥，單向閥的后級分別并接壓力包、超純水閥門和清洗閥門；清洗閥門的輸出連接至自來水進(jìn)水閥門和活性炭保安過濾器之間，其同活性炭保安過濾器、高壓泵、反滲透裝置、純水箱以及純水循環(huán)泵、單向閥形成一個密閉的循環(huán)回路。本發(fā)明無須再打開超純水機(jī)的內(nèi)部系統(tǒng)組件，有效防止了超純水機(jī)的二次污染。