公開了處理包含唑類的CMP廢水的方法。該方法包括提供具有第一唑濃度的廢水;將廢水引入到廢水處理系統(tǒng)的入口,該廢水處理系統(tǒng)被構(gòu)造和布置成產(chǎn)生自由基并且將自由基引入到廢水中;以及激活廢水處理系統(tǒng),以產(chǎn)生自由基并且將自由基引入到廢水中,所述自由基的量足以降低廢水中的唑濃度并且產(chǎn)生具有小于第一唑濃度的第二唑濃度的經(jīng)處理的水。公開了通過提供水處理系統(tǒng)來促進包含唑類的CMP廢水的處理的方法,該水處理系統(tǒng)被構(gòu)造和布置成產(chǎn)生自由基并且將自由基引入到廢水中。
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“唑類的處理” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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