本發(fā)明涉及一種蒸汽吹掃尾氣處理工藝與成套裝置。所述裝置包括冷凝換熱器、三相分離器、混合罐、真空泵、壓縮冷凝單元、氣液分離器、膜組件、換熱器和低溫催化氧化反應(yīng)器。蒸汽吹掃尾氣首先經(jīng)過(guò)冷凝換熱器冷卻，進(jìn)入三相分離器，將污油、廢水和廢氣進(jìn)行初步分離，分離后的污油和廢水分別進(jìn)入儲(chǔ)油罐儲(chǔ)存和污水管網(wǎng)處理，廢氣進(jìn)入到由壓縮冷凝、膜分離和低溫催化氧化工藝耦合而成的工藝裝置中進(jìn)行回收和處理。本發(fā)明裝置使用時(shí)，既可以回收尾氣中價(jià)值較高的有機(jī)物，又可以滿足尾氣排放指標(biāo)，同時(shí)由于沒(méi)有電加熱設(shè)備，裝置的防爆等級(jí)提高。并且所述裝置采用撬裝式可移動(dòng)設(shè)計(jì)，可以滿足在石化企業(yè)裝置附近開(kāi)機(jī)的要求，實(shí)現(xiàn)對(duì)尾氣的就地處理。