一種微蝕刻液的再生循環(huán)裝置,包括與微蝕刻生產(chǎn)線連通的蝕刻廢液槽以及,用于輸送再生蝕刻液至微蝕刻生產(chǎn)線的再生調(diào)配槽;所述蝕刻廢液槽與電解槽連通,所述電解槽與所述再生調(diào)配槽連通。該微蝕刻液的再生循環(huán)裝置采用直接電解的生產(chǎn)工藝,將微蝕刻廢液直接加入到電解槽中進(jìn)行電解,將廢液中的銅離子分離出來,經(jīng)過電沉積后形成高純電解銅板;降低銅離子濃度的電解液經(jīng)調(diào)整參數(shù)后返回微蝕刻生產(chǎn)線使用,實(shí)現(xiàn)微蝕刻廢液的循環(huán)再生。該設(shè)備為全自動(dòng)封閉及環(huán)保型系統(tǒng),無廢水、廢氣及其他廢物排放。
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