本發(fā)明公開了一種通過重復(fù)利用無氮黑硅清洗液對硅片進(jìn)行制絨的方法,包括:(1)將硅片浸入含有銅鹽、氫氟酸和雙氧水的黑硅制絨液中進(jìn)行制絨;(2)用去離子水清洗制絨后的硅片,吹干;(3)采用包含選自氫氟酸、鹽酸、硫酸和醋酸中的一種或多種酸以及雙氧水的無氮黑硅清洗液清洗吹干后的硅片;(4)用去離子水清洗無氮黑硅清洗液清洗后的硅片,吹干,制得具有絨面結(jié)構(gòu)的硅片;和(5)重復(fù)步驟(1)至(4),直至無氮黑硅清洗液達(dá)到使用壽命,以達(dá)到使用壽命的無氮黑硅清洗液為原料配制所述黑硅制絨液。本發(fā)明方法可以簡單、有效地實(shí)現(xiàn)無氮黑硅清洗液特別是其中的金屬離子的重復(fù)利用,降低了制絨成本和廢水處理成本,綠色環(huán)保。
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