本實用新型公開了一種用于半導體清洗設備的排水裝置,其包括外殼,外殼內部的底端固定設置有電動機與抽水機,抽水機的輸出端穿過外殼的側壁與出水管固定連接;抽水機的輸入端穿過隔斷板;隔斷板橫向固定設置在外殼的內部,外殼的內壁固定設置有第一肋柱以及第二肋柱;第一肋柱的上端設置有第一過濾網(wǎng);第二肋柱的上端設置有第二過濾網(wǎng);外殼上端的側壁內部貫通連接有進水管;出水管遠離外殼的一端內部貫通連接有進水頭;進水頭的內部開設有進水口;進水頭的一端固定設置有清潔頭;本實用新型結構簡單,便于更換,具備較好的過濾功能,可以有效降低廢水中的污染物的含量,且可以多次利用清洗液,達到充分利用清洗液的目的。
聲明:
“用于半導體清洗設備的排水裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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