本發(fā)明涉及一種硅片切割廢砂漿的回收處理方法。包括如下步驟:①分離硅片切割廢砂漿中的固液成分;②進一步回收固體中殘留的切割液成分;③水流
浮選分離硅粉、碳化硅;④回收硅粉;⑤回收碳化硅;⑥將回收的切割液進行粗濾、精濾、脫色、真空蒸餾脫水,添加相應(yīng)量的組分進行二級過濾后。本發(fā)明回收產(chǎn)物種類多,包括碳化硅微粉、切割液、硅粉,回收率高,回收效益高,可節(jié)省砂漿成本至少40%;同時有效地解決了單一回收可能造成二次污染問題;回收處理后的碳化硅微粉重新恢復切割功能,變廢為寶,實現(xiàn)了真正意義上的資源再利用,可促進循環(huán)經(jīng)濟的發(fā)展;本發(fā)明方法對接
污水處理工藝后,將廢水處理后再利用,基本實現(xiàn)廢液的零排放,有利于環(huán)境保護。
聲明:
“硅片切割廢砂漿的回收處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)