本發(fā)明公開了一種多線切割硅片的廢舊料漿回收方法,包括下述步驟:將回收的廢舊料漿用切割液稀釋至固體質(zhì)量占20%-25%;用連續(xù)離心分離法將6微米以粗的碳化硅刃料顆粒分離;用壓榨機將剩余含有6微米以細的碳化硅微粉和硅微粉的切割液料漿壓榨成濾餅;用微波對上述濾餅進行干燥;用氣流分級機對濾餅進行碳化硅微粉和硅微粉的分級處理;將壓榨出的切割液和切割液蒸汽用
過濾機進行過濾后用活性白土吸附劑對其中的殘余雜質(zhì)進行吸附除雜后經(jīng)脫水、脫色灌裝回收。本發(fā)明優(yōu)點在于對廢舊料漿的處理中,整個生產(chǎn)過程無任何污染,不消耗水,節(jié)約能耗70%以上,產(chǎn)品回收率高達98%以上。
聲明:
“多線切割硅片的廢舊料漿回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)