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多線切割硅片的廢舊料漿回收方法

749   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:30:57
本發(fā)明公開了一種多線切割硅片的廢舊料漿回收方法,包括下述步驟:將回收的廢舊料漿用切割液稀釋至固體質(zhì)量占20%-25%;用連續(xù)離心分離法將6微米以粗的碳化硅刃料顆粒分離;用壓榨機將剩余含有6微米以細的碳化硅微粉和硅微粉的切割液料漿壓榨成濾餅;用微波對上述濾餅進行干燥;用氣流分級機對濾餅進行碳化硅微粉和硅微粉的分級處理;將壓榨出的切割液和切割液蒸汽用過濾機進行過濾后用活性白土吸附劑對其中的殘余雜質(zhì)進行吸附除雜后經(jīng)脫水、脫色灌裝回收。本發(fā)明優(yōu)點在于對廢舊料漿的處理中,整個生產(chǎn)過程無任何污染,不消耗水,節(jié)約能耗70%以上,產(chǎn)品回收率高達98%以上。
聲明:
“多線切割硅片的廢舊料漿回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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