本發(fā)明涉及一種
多晶硅渣漿無水化處理工藝,包括以下步驟:⑴來自上游的多晶硅渣漿經(jīng)固液氣分離,得到液體和氣體A及固體A;液體和氣體A處理后收集得到液體A;⑵固體A經(jīng)蒸汽加熱攪拌,得到干燥后的固體產(chǎn)物以及以氣體方式存在的四氯化硅和部分三氯氫硅;以氣體方式存在的四氯化硅和部分三氯氫硅經(jīng)處理后收集得到液體B;⑶干燥后的固體產(chǎn)物經(jīng)熱解爐加熱,得到固體廢物和氣態(tài)形式的高沸物;氣態(tài)形式的高沸物經(jīng)催化裂解得到氣體B和液體C;⑷固體廢物依次通過鎖氣罐、冷卻螺旋、固體料倉排放到包裝和外送單元;⑸液體A、B、C和氣體B經(jīng)分離后,得到四氯化硅和三氯氫硅產(chǎn)品以及剩余的高沸物和部分固體B。本發(fā)明利用效率高,且實(shí)現(xiàn)無水化。
聲明:
“多晶硅渣漿無水化處理工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)