本發(fā)明涉及一種物料的回收方法,特別涉及一種線切割工藝中砂漿的回收方法。該線切割工藝中砂漿的回收方法,其特征是:包括如下步驟:舊砂漿通過(guò)物理旋流分離器分為固體流A和液體流B;固體流A通過(guò)分離裝置分為輕濾渣C和重濾渣D,將重濾渣D過(guò)濾得到濾渣E,將濾渣E中加入酸溶液而后加水清洗,分離得到固體顆粒F;將固體顆粒F中加入氫氧化鈉水溶液反應(yīng)而后加水清洗,分離出固體顆粒烘干得到碳化硅;將碳化硅與液體流B攪拌均勻后回到線切割機(jī)上使用。因此,本發(fā)明的有益效果是,利用離心分離和化學(xué)清洗,將廢砂漿中的雜質(zhì)清除得到合格的碳化硅和切割液重新使用,很大程度地降低了硅片加工的成本,也避免了廢砂漿對(duì)環(huán)境的污染。
聲明:
“線切割工藝中砂漿的回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)