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晶體硅清洗方法

690   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 05:45:16
本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種晶體硅清洗方法,該方法包括:將晶體硅置于純水中進(jìn)行超聲或兆聲加熱預(yù)清洗;將晶體硅置于混合酸溶液中進(jìn)行腐蝕;采用純水對(duì)所述晶體硅進(jìn)行沖洗;將所述晶體硅烘干。本發(fā)明所提供的晶體硅清洗方法,采用物理清洗和化學(xué)清洗相結(jié)合的方式對(duì)晶體硅進(jìn)行清洗,能有效地去除晶體硅(尤其是回收料)表面的雜質(zhì)和顆粒,而且可減少化學(xué)藥液的用量,減小化學(xué)藥液對(duì)人、設(shè)備及環(huán)境的危害,減輕化學(xué)藥液對(duì)晶體硅的腐蝕損耗,減輕后續(xù)對(duì)廢液的處理工作,從而可降低清洗成本。
聲明:
“晶體硅清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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