本發(fā)明公開了一種多晶硅太陽能電池酸腐制絨用光刻膠的去除方法，其步驟為：硅片刻蝕后的有機光刻膠掩膜通過燒結(jié)爐在高溫下將光刻膠掩膜燒掉，然后采用酸洗去除表面氧化層和殘余有機雜質(zhì)。本發(fā)明有機光刻膠掩膜的快速去除方法，是一種純物理的光刻膠去除方法，相對于目前常用的有機光刻膠去除方法，無有機溶劑和酸堿溶劑污染，無廢液排放，大大降低了化學溶劑的消耗以及后續(xù)污染處理，降低了生產(chǎn)過程中的危險性，還大大降低了成本，提高了生產(chǎn)效率。