極紫外光收集鏡系統(tǒng)的檢測裝置及應(yīng)用該檢測裝置對(duì)極紫外光收集鏡系統(tǒng)進(jìn)行裝配的方法,涉及光收集系統(tǒng)檢測領(lǐng)域。解決了現(xiàn)有的極紫外光收集鏡系統(tǒng)的集成性差、獲得極紫外光的功率低的問題。它包括光源出射器和收集鏡系統(tǒng)支撐架、CCD傳感器、傳感器支撐架和計(jì)算機(jī);收集鏡系統(tǒng)支撐架上固定有極紫外光收集鏡系統(tǒng),CCD傳感器位于傳感器支撐架上,且CCD傳感器和傳感器支撐架均位于收集鏡系統(tǒng)支撐架下方,CCD傳感器的數(shù)據(jù)信號(hào)輸出端與計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)信號(hào)輸入端連接,光源出射器出射面光經(jīng)極紫外光收集鏡系統(tǒng)掠入射反射后,匯聚至CCD傳感器,計(jì)算機(jī)用于測量CCD傳感器接收到的光斑和記錄光斑信息。用于對(duì)極紫外光收集鏡系統(tǒng)進(jìn)行性能檢測。
聲明:
“極紫外光收集鏡系統(tǒng)的檢測裝置及應(yīng)用該檢測裝置對(duì)極紫外光收集鏡系統(tǒng)進(jìn)行裝配的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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