本實用新型涉及金相顯微鏡技術領域,尤其涉及一種鋁合金分析用便攜式金相顯微鏡,解決在工廠內使用時會污染目鏡、顯微鏡意外掉落容易損壞、不易對帶有弧面的進行進行觀察、在對斜面觀察時不易找到平行點的缺點,包括鏡筒,所述鏡筒的下端固定連接有底座,所述底座的上端固定連接有保護柱,所述保護柱的外側固定連接有護欄,所述鏡筒的上端滑動連接有目鏡,所述鏡筒的上端鉸接有鏡蓋。本實用新型通過在鏡筒的上端加設鏡蓋的方式,使其在不用時可以將其目鏡收入鏡蓋內,減少對其的污染;又通過在底座的外側加設保護柱與護欄的方式,將其鏡筒等構件保護在其內部,可以避免落下時鏡筒等構件與地面接觸造成損壞。
本實用新型涉及半導體制造領域,公開了一種掃描電鏡裝置,包括:電子槍,設置在電子真空腔室內用于產生檢測分析需要的電子;掃描電鏡,設置在電子槍的電子出口處用于調整電子的活動軌跡;還包括樣品臺,用于放置需要進行檢測分析的晶圓,掃描電鏡包括第一目鏡腔室和第二目鏡腔室,第一目鏡腔室和第二目鏡腔室內分別設置有調節(jié)電壓以使得穿過第一目鏡腔室和第二目鏡腔室的電子能夠轟擊到樣品臺上。本申請采用電子轟擊晶圓表面,通過兩次目鏡調整精度,保證電子束能夠精確轟擊到晶圓表面,看清表面的結構。也可以接EDX系統(tǒng)進行元素分析。保證了晶圓的完整性,使得晶圓可以繼續(xù)使用。
本發(fā)明涉及一種傳送桿及掃描電鏡,該傳送桿包括:載體;夾取裝置,設置在所述載體上;第一驅動裝置,設置在所述載體上,用于驅動所述夾取裝置動作,以便使所述夾取裝置夾緊或松開樣品臺;第二驅動裝置,與所述載體相接,用于驅動所述載體在第一方向和第二方向上運動,以便帶動所述夾取裝置在所述第一方向和所述第二方向上運動,使得所述夾取裝置可以伸入或退出掃描電鏡的真空倉,其中所述第一方向和所述第二方向相反。本發(fā)明提供的傳送桿在進行送樣和取樣時,可以通過控制第一驅動裝置來使夾取裝置夾緊或松開樣品臺,通過控制第二驅動裝置來驅動載體伸入或退出掃描電鏡的真空倉,整個過程無需經過繁瑣的操作、簡單方便。
本實用新型涉及一種掃描電鏡的工作臺,包括底座,所述底座的頂面后側處固定連接有殼體;所述底座的頂面設有盒體,所述盒體的前側壁開設有安裝腔,所述安裝腔的下方開設有空腔;通過設置的盒體和承載機構:一方面,通過設置的承載臺,在承載臺外部的盒體的作用下,即可對承載臺上的掃描電鏡進行保護,避免外物磕碰掃描電鏡;另一方面,載臺向前側運動并突出安裝腔,便于使用人員使用掃描電鏡;該設計便于對掃描電鏡進行收納和保護,避免掃描電鏡因外力受損而造成經濟損失;通過在盒體前側設置的封閉機構:即通過設置的擋板,可以對安裝腔進行封閉,便于對安裝腔內的掃描電鏡進行保護。
本實用新型公開了一種細胞外表面觀察用的生物掃描電鏡,包括樣品臺、收集倉和掃描電鏡本體,所述掃描電鏡本體的內壁安裝有樣品臺,所述掃描電鏡本體的一側安裝有收集倉。本實用新型通過第一電機帶動第一螺紋桿旋轉,第一螺紋桿旋轉能夠帶動第一滑塊在第一滑槽內壁移動,第一滑塊移動帶動放置臺移動,通過第二滑槽、第二滑塊和限制桿的設置,有利于起到支撐放置臺和提高放置臺穩(wěn)定的效果,放置臺移動便于工作人員將樣品存放在放置臺上,通過第二電機、第一齒輪。第二齒輪、第二螺紋桿、第三滑槽、第三滑塊和夾持軟墊的設置,能夠對樣品進行夾持,通過第一電機和第一螺紋桿將樣品移動到指定位置,進而有利于在使用過程中,提高其工作效率。
本實用新型涉及一種鋼板掃描電鏡試樣夾持裝置,置于掃描電鏡試樣臺上;包括2個相對設置的夾持塊、螺栓及螺母;夾持塊的上部為試樣夾持部,下部為連接部;試樣置于2個夾持塊的試樣夾持部之間,連接部開設通孔,螺栓的一端自2個夾持塊上的通孔穿過后用螺母鎖緊;夾持塊的材質為銅。本實用新型所述夾持裝置采用銅制夾持塊導電性好,采用夾持方式有利于試樣斷口等缺陷分析,結構簡單,操作方便。
本實用新型提供了一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器,其提高二次電子或者背散射電子的收集效率、能夠進一步改善圖像的信噪比和分辨力。其包括:柵網;法拉第杯;閃爍體;光導柱;光電倍增管;高壓電源;電流放大電路板;不銹鋼外殼;法拉第杯的電子信號輸入端設置有外凸的篩網,法拉第杯的電子信號輸出端朝向閃爍體布置,閃爍體的光子信號輸出端朝向光導柱的輸入端布置,光導柱的輸出端連接至光電倍增管的信號輸入端,光電倍增管的信號輸出端連接電流放大電路板的信號輸入端,光電倍增管連接有高壓電源;不銹鋼外殼內包覆有高壓電源、光電倍增管、光導柱、閃爍體,不銹鋼外殼的前部輸入端固裝有法拉第杯。
本申請公開了一種金相顯微鏡收納裝置,涉及金相顯微鏡收納領域,改善了金相顯微鏡機身導線難以快速收納的問題,包括收納箱,所述收納箱的頂面?zhèn)冗吿幫ㄟ^合頁轉動連接有箱蓋,所述收納箱的內壁固定連接有緩震塊,所述緩震塊頂面的左側開設有收納槽,所述緩震塊頂面的右側設置有兩個收卷盤,兩個所述收卷盤的底面與緩震塊的頂面均設置有限位組件。本申請收卷盤外表面的收卷槽可實現(xiàn)對金相顯微鏡導線的收卷,使得金相顯微鏡上的導線能夠快速的進行收納,且收卷盤收卷后可得到固定,避免導線發(fā)生凌亂,在理線組件的作用下金相顯微鏡上的導線可得到排布與固定,便于將其進行收卷,使其起來更加的方便,增加了裝置的實用性。
本實用新型公開了一種便于攜帶的金相顯微鏡支架,涉及金相顯微鏡技術領域,包括外殼防護單元,還包括設置于外殼防護單元外部的輔助搬運單元,設置于外殼防護單元內部的調節(jié)夾持單元與壓持固定單元;調節(jié)夾持單元包括開設于外殼防護單元內底壁的U型槽、活動設置于U型槽內且開設有兩端旋向相反螺紋的螺紋軸、安裝在螺紋軸上的移動件、安裝在移動件頂部的夾持座,以及安裝在螺紋軸輸入端的驅動電機。本實用新型為一種便于攜帶的金相顯微鏡支架,通過設置的調節(jié)夾持單元與壓持固定單元,實現(xiàn)了對不同型號的金相顯微鏡的運輸防護,提升了適用范圍。
本實用新型提供一種半導體芯片的掃描電鏡裝置,包括:電子槍;聚焦組件,設置于電子槍的電子束的發(fā)射端;承載平臺,位于聚焦組件聚焦處理后的電子束所在的直線路徑上,承載平臺用以承載晶圓,晶圓上布置多個芯片;檢測探頭組,包括多個檢測探頭,檢測探頭組位于承載平臺的一側,以收集芯片激發(fā)的電子信號;以及弧形基座,安裝檢測探頭組,弧形基座的凹部開口朝向承載平臺。本實用新型可提高半導體芯片的線寬測量精度。
一種可調節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,包括大樣品臺(1)、帶燕尾槽的底座(2)、小樣品臺(3)、轉柄(4)。帶螺桿的小樣品臺安裝在大樣品臺的螺孔中;小樣品臺下部螺桿的端部安裝固定在轉柄的螺孔中;大樣品臺下部安裝有帶燕尾槽的底座,帶燕尾槽的底座通過螺栓(5)與大樣品臺連接固定;大樣品臺底部的燕尾槽結構與蔡司掃描電鏡的樣品臺連接機構相配合。通過轉柄的轉動小樣品臺的螺桿轉動,推動小樣品臺上升;當小樣品臺需下降時,只需反向轉動轉柄,螺桿下降,從而實現(xiàn)小樣品臺在垂直方向上高度的調整。
本發(fā)明涉及角度檢測領域,尤其涉及一種電解液扇柱體形變傾角測試儀,包括盛液器、安裝體和信號處理裝置;盛液器包括同軸的外圓柱體和內圓柱體;外圓柱體和內圓柱體之間構成盛液腔;盛液腔中注入電解液,其體積占有盛液腔容積的一半;在外圓柱體的軸截面上設置一絕緣隔離板,絕緣隔離板以內圓柱體母線、外圓柱體母線和外圓柱體的兩個端面為邊界;絕緣隔離板的前端設有第一左電極和第一右電極,絕緣隔離板的后端設有第二左電極和第二右電極;安裝體下表面用于貼合被測平面,盛液器設于安裝體,其中,絕緣隔離板與安裝體下表面垂直;通過四個電阻組成橋臂,利用電阻的變化來測量傾角的變化。本發(fā)明結構構件少,成本低,操作便利,測量精度高。
本實用新型涉及一種適用于掃描電鏡原位拉伸臺棒材試樣的夾具,所述棒材為中間細兩端粗的圓棒,中間圓棒與兩端圓棒為圓弧過渡,棒材中間設有試驗環(huán)切點,所述夾具包括基座、座體,基座和座體均為對稱設置,座體分別夾持在棒材的兩端,座體通過緊固螺栓固定連接在基座上,座體包括底座、壓塊,底座內設有凹槽,壓塊插接在底座的凹槽內,壓塊和底座之間形成與棒材端部匹配的腔體,壓塊的頂部設有突出的握持部。本實用新型裝卸簡單,可牢固固定棒材樣品進行拉伸、壓縮試驗,所需樣品易于加工,確保拉伸、壓縮實驗順利進行,加載作用力時,使樣品兩端均勻受力。
本實用新型公開了一種金相顯微鏡物鏡自動轉換裝置,包括顯微鏡鏡體,所述顯微鏡鏡體的底部是顯微鏡底座,所述顯微鏡底座上安裝有光源,所述顯微鏡鏡體的側壁上安裝有載物臺,載物臺下方安裝有聚光鏡以及聚光鏡旋鈕,所述顯微鏡鏡體的頂部安裝有CCD接口,所述CCD接口與目鏡相連,通過選擇使用CCD接口或者目鏡,實現(xiàn)遠程觀察以及實地觀察的功能,所述目鏡下方安裝有物鏡,所述物鏡與物鏡自動轉換機構之間通過齒輪及不完全齒輪進行配合工作,通過單片機控制物鏡自動轉換機構實現(xiàn)遠程轉換物鏡的功能,能夠提高金相顯微鏡觀察金相組織操作的自動化程度,特別適合不利于人工長時間操作的場合,例如對高空位置的金屬材料的分析場合。
本實用新型公開了一種適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉移裝置,由密封腔、閥門機構、動力機構和承載托架組成,密封腔包括固定底板、轉移裝置腔體、密封條、密封蓋板,閥門機構用于對密封腔抽真空,動力機構用于開閉密封蓋板,固定底板與密封蓋板之間設有導柱,承載托架上設有樣品釘放置孔,并水平安裝在密封蓋板后側面的上部,承載托架的上表面與轉移裝置腔體的內壁頂部之間僅存在細微的間距。本實用新型體積小巧,結構簡單,真空密封性好,可靠度高,非常適用于狹小空間的小型化掃描電鏡,可以在保證低成本的同時,完成空氣敏感類樣品在手套箱和小型掃描電鏡之間的真空密封轉移,從而解決了小型化掃描電鏡觀測空氣敏感類樣品的真空轉移問題。(ESM)同樣的發(fā)明創(chuàng)造已同日申請發(fā)明專利
本發(fā)明公開一種基于掃描電鏡的自動聚焦方法及裝置,其中,方法,按照三點趨勢法在目標聚焦位置的預設方向上逐步多次調節(jié)聚焦焦距并拍攝每次調節(jié)聚焦焦距形成的聚焦圖像,直到多次調節(jié)聚焦焦距形成聚焦圖像對應的圖像清晰度滿足預設條件為止,并記錄最佳圖像清晰度對應的最佳聚焦焦距,可自定義搜索焦距的預設方向,不但可以在一定程度上提高聚焦準確性及效率,而且還可以幫助新手用戶快速聚焦找到清晰圖像,提升用戶體驗。
本實用新型公開了一種便攜式電子能譜儀,包括主體,主體內底部的一端設置有電子能譜儀,主體內底部遠離電子能譜儀一端的中間位置處設置有操作按鈕,主體內底部遠離電子能譜儀一端的一側設置有控制面板;本實用新型通過防護板、固定螺栓、滑桿、限位孔和套塊之間的相互配合,可對能譜儀電腦顯示屏進行防護,避免能譜儀電腦顯示屏造成碰撞損壞,延長能譜儀電腦顯示屏的使用壽命,通過防護板上設置有海綿擦拭塊,每次當移動防護板時都會對能譜儀電腦顯示屏進行擦拭,從而提高能譜儀電腦顯示屏的整潔度,提高能譜儀電腦顯示屏的顯示效果,同時通過海綿擦拭塊可進一步的對能譜儀電腦顯示屏進行防護。
本實用新型公開了一種X射線衍射儀樣品臺檢測裝置,涉及X射線衍射儀技術領域,包括底座,所述底座的右側固定連接有支撐板,所述支撐板的右端固定連接有樣品固定臺,所述樣品固定臺的頂部設置有樣品盒,所述樣品固定臺的頂端活動連接有加固機構。本實用新型在對樣品盒進行固定時,通過對螺帽進行轉動,從而能夠通過連接桿帶動擠壓板對頂緊彈簧進行擠壓,從而能夠對樣品盒的頂緊程度進行調節(jié),使用時,樣品盒滑入定位套的頂部,通過頂緊彈簧頂動推板,并通過滾輪一與固定板之間的配合下,能夠對樣品盒進行頂緊固定,由于采用了滾輪的方式,避免在長時間使用導致固定的效果有所降低,同時也使得樣品盒的滑入更加方便。
本實用新型提供一種掃描電子顯微鏡的樣品臺,其包括樣品臺本體、緊固螺栓以及釘型腿,所述樣品臺本體具有樣品槽,所述緊固螺栓、釘型腿均與樣品臺本體通過螺紋配合連接。本實用新型不但可以直接穩(wěn)固地固定不同形狀的樣品,特別是球狀樣品,能夠防止樣品在測試中發(fā)生脫落或碰撞到極靴,改善成像質量,提高測試準確性,而且不會對樣品造成污染或破壞,保持樣品的原有狀態(tài),避免了樣品表面的污染,有效拓寬了掃描電子顯微鏡的應用范圍。
本實用新型涉及檢測設備領域,特別涉及掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置,包括樣品基座及插設于所述樣品基座上的樣品臺,沿著所述樣品臺邊沿插設有多個樣品支座;樣品支座的內端插入樣品臺,樣品支座的上表面開設有豎向凹槽,豎向凹槽的一端穿出樣品支座的外端,樣品支座的外壁設有第一斜面和第二斜面,第一斜面和第二斜面分別位于豎向凹槽的兩側,第一斜面和第二斜面的上沿分別延伸至豎向凹槽的槽口。與現(xiàn)有技術相比,本實用新型結構合理,可以通過多個樣品臺同時裝載多種樣品進行觀察,同一樣品支座上的豎向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于觀察樣品的斜面、平面及斷面樣品形貌,提高了觀測效率。
本實用新型公開了一種生物標本的掃描電鏡清洗固定裝置,涉及生物標本固定技術領域。本實用新型包括裝置本體,裝置本體的內部通過螺釘固定有第一電機,第一電機的輸出端焊接有第一錐齒輪,第一錐齒輪頂部的一側嚙合連接有第二錐齒輪,第二錐齒輪的頂部焊接有支撐柱,支撐柱的頂部焊接有第一齒輪,第一齒輪的一側嚙合連接有第二齒輪,第二齒輪的外側嚙合連接有環(huán)形齒輪,環(huán)形齒輪的頂部且位于裝置本體的頂部焊接有轉動圓盤。本實用新型通過第一電機、轉動圓盤和清潔架之間的相互配合,使得清洗容器提升了裝置對生物標本的清潔程度,且通過第二液壓缸、放置板和滑塊之間的相互配合,使得裝置更加方便對生物標本進行固定。
本實用新型涉及一種用于冷凍掃描電鏡的樣品臺,樣品臺包括:基座;棱柱,數量至少為一個,至少一個所述棱柱間隔垂直固定在所述基座上,當兩個及以上所述棱柱彼此相互平行設置;轉接口,設置于所述基座上,且遠離所述棱柱的一端。本實用新型所提供的樣品臺適用于大塊樣品(包括含水木材、含水巖石等)、斷面樣品的冷凍掃描電鏡觀察分析,且具有結構簡單,使用操作方便等優(yōu)點。
本實用新型公開了一種金相顯微鏡觀察半導體用載樣臺,包括基座,所述基座的表面固定連接有連接架,所述連接架的表面固定連接有觀察臺和載片臺,本實用新型涉及顯微鏡技術領域。該金相顯微鏡觀察半導體用載樣臺,在載片臺的內部設置固定機構,通過轉動塊和轉動槽的位置的改變使固定塊之間的相對位置被改變,轉動塊使用透光材料制作,便于觀察,固定塊的位置會根據轉動塊的改變進行同步改變,便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對于,便于觀察載玻片內部的半導體樣本,同時采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置,促使各方面的力難以改變載玻片的位置,使載玻片偏移,觀察過程中不會使觀察的視角被改變,便于細致觀察。
本實用新型公開了一種光電子能譜儀,主要包括分析腔體、抽真空組件、電子能量分析器、激發(fā)光源、樣品臺以及傳樣腔等。在分析腔體上自下往上依次設定抽真空高度、分析高度、傳樣高度;抽真空組件設置在分析腔體的抽真空高度附近,電子能量分析器、激發(fā)光源設置在分析腔體的分析高度附近,樣品臺延伸至分析腔體內且能上下移動;傳樣腔設置在傳樣高度附近,通過其內部的磁力桿實現(xiàn)樣品在傳樣腔和分析腔體之間的傳遞。本申請在結構設計上因分析、傳樣、抽真空高度位于不同高度,可以避免傳樣時碰撞分析器的風險;本申請分析腔體采用柱狀結構,將頂部空間變成開放式,提供了一個與柱狀腔體直徑相對的操作空間,便于分析腔內部增加大尺寸結構裝置。
本實用新型公開了一種掃描電子顯微鏡樣品防撞系統(tǒng),包括:激光束發(fā)射模塊、CCD探測模塊、信號處理系統(tǒng)、運動控制反饋系統(tǒng)和控制中心。其中所述激光束發(fā)射模塊安裝于樣品腔室的側壁上,用于發(fā)射一激光束,所述激光束可以是一掃描式激光束或一字線激光束;所述CCD探測模塊安裝于與所述激光束發(fā)射模塊相對的側壁上,用于對穿過樣品室的激光束進行探測,產生探測信號;所述信號處理系統(tǒng)對CCD探測模塊的探測信號進行處理,用于判斷樣品是否超過激光束限位高度;所述運動控制反饋系統(tǒng)根據所述信號處理系統(tǒng)的結果做出判斷,控制樣品臺進行下一步動作;所述控制中心對整個系統(tǒng)進行控制,使其能夠協(xié)調運轉。
本實用新型公開了一種用于掃描電鏡原位拉伸臺壓縮試驗分析的樣品夾具,包括基座、與基座卡接的連接板以及固定在基座上表面的立筒,基座和立筒分別對稱設置,立筒上方設置有升降板,立筒內部設置有控制升降板升降的轉動結構,升降板上轉動連接有與設置在基座上的搭放板相匹配的用于樣品固定的防滑壓板;基座上還設置有便于樣品取出的樣品頂出結構。通過轉動結構的設計,利用轉桿調整升降板的升降,調整防滑壓板與搭放板之間的距離,無需拆裝即能滿足不同規(guī)格樣品的固定需求;同時,通過樣品頂出結構的設計,利用氣彈簧的彈力將樣品頂出,能避免出現(xiàn)樣品卡扣過緊難以取出的情況,便于樣品的取出,有效節(jié)約樣品取放時間,大大提高了試驗效率。
本發(fā)明涉及一種自適應束斑X射線衍射儀,包括:X射線源系統(tǒng),X射線濾波片,毛細管微會聚X光透鏡,索拉狹縫,光管運動系統(tǒng),高精度XYZθ1?θ2五維運動系統(tǒng),X射線探測器,閉環(huán)水冷系統(tǒng)或冷卻風扇,CCD相機,電子學系統(tǒng),控制系統(tǒng)和計算機;其中,X射線源系統(tǒng)、X射線濾波片和毛細管微會聚X光透鏡成直線置于光管運動系統(tǒng)上;CCD相機的軸線通過樣品中心;X射線探測器和索拉狹縫成直線安裝于高精度XYZθ1?θ2五維運動系統(tǒng)的θ2轉角上;X射線探測器、CCD相機、電子學系統(tǒng)與計算機電連接;控制系統(tǒng)與光管運動系統(tǒng)、高精度XYZθ1?θ2五維運動系統(tǒng)電連接;可根據樣品待測點直徑自適應的調節(jié)X射線束斑直徑;具備X射線衍射和X射線熒光兩種模式,可探測物相或元素的二維分布。
本實用新型涉及一種適應性夾具,公開了一種適應夾持型掃描電鏡樣品臺,包括夾具臺,夾具臺兩側固定連接有第一固定桿,第一固定桿上滑動連接有兩組對稱設置的第一滑塊,第一滑塊之間固定連接有滑槽,滑槽內滑動連接有多組均與分布的第二滑塊,第二滑塊一側穿過滑槽固定連接有移動架,移動架內固定連接有滑動定位筒,滑動定位筒內滑動連接有滑動連桿,滑動連桿的一端固定連接有伸縮塊,本實用新型通過對多組夾持塊的夾持高度與夾持深度進行適應性調節(jié),從而根據樣品形狀的不同,實現(xiàn)對夾持塊的適應性貼合夾持,同時本實用新型可對多組夾持塊之間的間距進行同步調節(jié),從而實現(xiàn)對夾持點的等距分布,從而提升裝置對樣品夾持的穩(wěn)定性。
本實用新型提出一種可抑制產品效應的金屬檢測機,包括:金屬箱體、發(fā)射線圈、兩組接收線圈、傳送帶、主機和顯示器;金屬箱體內設置有兩端通出金屬箱體的食品通道,發(fā)射線圈纏繞在食品通道的外側壁的中部;兩組接收線圈分別對稱纏繞在食品通道外側壁的兩端,兩組接收線圈的同名端相連接;傳送帶穿過食品通道;主機上設置有控制器,控制器的信號輸出端連接有頻率可調正弦波發(fā)生器,頻率可調正弦波發(fā)生器的輸出端直接或間接與發(fā)射線圈的輸入端相連接,兩組接收線圈的輸出端直接或間接與模數轉換器的輸入端相連接,模數轉換器的輸出端與控制器的信號輸入端相連接;顯示器與控制器信號連接。
本實用新型公開了一種電池熱沖擊試驗機,包括測試箱本體,測試箱本體的內部安裝有測試內箱,測試內箱頂端的中部活動設置有泄壓板,測試內箱內壁的頂部開設有出氣孔,測試箱本體的頂端固定設置有煙霧收集箱,本實用新型一種電池熱沖擊試驗機,該試驗機通過煙霧收集箱的設置能夠對加熱產生的煙霧進行收集,避免煙霧直接排出對人體健康造成不良影響,通過循環(huán)風機的設置能夠使得測試內箱內部保持熱風循環(huán),可以保證工作溫度分布均勻,避免電池各部分受熱不均對測試結果造成不良影響,關上測試箱門,會觸發(fā)出氣開關,出氣開關控制電動推桿推動泄壓板使其中部拱起,不再對出氣孔進行密封,便于對煙霧進行收集。
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