本發(fā)明涉及一種主動(dòng)抑制寄生運(yùn)動(dòng)原理壓電驅(qū)動(dòng)器回退運(yùn)動(dòng)的裝置與方法，屬于精密機(jī)械領(lǐng)域。裝置包括基座、動(dòng)子單元、驅(qū)動(dòng)單元、預(yù)壓力調(diào)整單元。動(dòng)子單元安裝在基座的凸臺(tái)上；預(yù)壓力調(diào)整單元通過(guò)螺釘固定在基座上；驅(qū)動(dòng)單元安裝在預(yù)壓力調(diào)整單元上。該方法通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元中的驅(qū)動(dòng)壓電疊堆與提升壓電疊堆產(chǎn)生的協(xié)同作用，使得寄生原理壓電驅(qū)動(dòng)器在驅(qū)動(dòng)過(guò)程中壓力恒定，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)回退運(yùn)動(dòng)的主動(dòng)抑制。優(yōu)點(diǎn)在于：可顯著抑制回退運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)理想的步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，并能一定程度上消除系統(tǒng)非線性產(chǎn)生的影響，便于后續(xù)精密控制。在精密和超精密定位、精密測(cè)量、精密加工裝配、生物遺傳工程和材料表面性能檢測(cè)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。