本發(fā)明提供一種化學機械研磨裝置的研磨墊檢測方法與研磨墊檢測裝置,尤指以動態(tài)方式進行對研磨墊表面進行檢測的方法與裝置,利用檢測裝置以氣體隔離出供研磨墊露出的隔離區(qū)域進行檢測讓化學機械研磨裝置可在不中斷制程的狀態(tài)下,對研磨墊進行檢測,并達到更加精準的檢測結果,進而可更加適時的對拋光墊進行整修與更換。
聲明:
“化學機械研磨裝置的研磨墊檢測方法與研磨墊檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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