本發(fā)明提供一種確定相變材料的化學機械拋光停止點的方法及檢測系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明的方法,基于來自正在化學機械拋光的材料結(jié)構表面的反射光的強度來確定化學機械拋光停止點,如此可有效去除納米孔或納米溝槽外的相變材料,減少表層的損傷,提高器件的良率。
聲明:
“確定相變材料的化學機械拋光停止點的方法及檢測系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)