一種包含拉曼光譜原位測(cè)量腔的化學(xué)氣相沉積裝置，所述裝置包括傳動(dòng)裝置、用于對(duì)薄膜材料進(jìn)行化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的反應(yīng)腔和用于對(duì)薄膜材料進(jìn)行拉曼光譜原位監(jiān)測(cè)的監(jiān)測(cè)腔，所述反應(yīng)腔和監(jiān)測(cè)腔相連通，所述反應(yīng)腔中設(shè)置有反應(yīng)底座，所述監(jiān)測(cè)腔中設(shè)置有拉曼光譜監(jiān)測(cè)模塊；所述反應(yīng)底座用于作為薄膜材料生長(zhǎng)的基底；所述傳動(dòng)裝置用于控制反應(yīng)底座在反應(yīng)腔與監(jiān)測(cè)腔之間移動(dòng)；所述拉曼光譜監(jiān)測(cè)模塊用于對(duì)移動(dòng)到監(jiān)測(cè)腔的薄膜材料進(jìn)行拉曼光譜原位監(jiān)測(cè)。本發(fā)明提供一種包含拉曼光譜原位測(cè)量腔的化學(xué)氣相沉積裝置，解決了在不影響薄膜生長(zhǎng)的條件下對(duì)薄膜進(jìn)行原位拉曼檢測(cè)，進(jìn)而可實(shí)時(shí)調(diào)整工藝以減少缺陷。