本實用新型提供一種化學機械研磨測試設備,包括:吸附臺,分布于所述吸附臺上方的多個研磨頭、多個分別對應于每個所述研磨頭的研磨液供應管;所述研磨頭上固定有研磨墊。本實用新型的化學機械研磨測試設備可在一片晶圓上進行多項不同研磨力度、不同研磨液種類或不同研磨液流速的化學機械研磨測試,因此有效節(jié)省了成本,同時節(jié)約了測試時間。
聲明:
“化學機械研磨測試設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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