本實(shí)用新型提供一種涂膠顯影化學(xué)品進(jìn)液設(shè)備的監(jiān)測(cè)工具,包括監(jiān)測(cè)殼體、以及設(shè)于監(jiān)測(cè)殼體上的連接機(jī)構(gòu),監(jiān)測(cè)殼體內(nèi)設(shè)置有控制單元和連接控制單元的入口監(jiān)測(cè)單元、閥門(mén)監(jiān)測(cè)單元、液體監(jiān)測(cè)單元以及壓力監(jiān)測(cè)單元;控制單元,用于接收和處理入口監(jiān)測(cè)單元、閥門(mén)監(jiān)測(cè)單元、液體監(jiān)測(cè)單元以及壓力監(jiān)測(cè)單元發(fā)送的數(shù)據(jù);入口監(jiān)測(cè)單元,用于監(jiān)測(cè)設(shè)于監(jiān)測(cè)殼體上氣體入口和液體入口開(kāi)啟關(guān)閉監(jiān)測(cè)狀態(tài);閥門(mén)監(jiān)測(cè)單元,用于監(jiān)測(cè)設(shè)于監(jiān)測(cè)殼體電磁閥開(kāi)啟閉合狀態(tài);液體監(jiān)測(cè)單元,用于監(jiān)測(cè)通過(guò)監(jiān)測(cè)殼體的液體流量;壓力監(jiān)測(cè)單元,用于監(jiān)測(cè)通過(guò)監(jiān)測(cè)殼體內(nèi)的氣體壓力;本實(shí)用新型可以便捷的對(duì)涂膠顯影設(shè)備機(jī)組進(jìn)行監(jiān)測(cè),降低了設(shè)備聯(lián)合調(diào)試的工作量,提高了設(shè)備的生產(chǎn)效率。
聲明:
“涂膠顯影化學(xué)品進(jìn)液設(shè)備的監(jiān)測(cè)工具” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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