等離子體化學(xué)氣相法批量生產(chǎn)氮化硅粉體轉(zhuǎn)相工藝及系統(tǒng),該系統(tǒng)是在等離子體化學(xué)氣相法生產(chǎn)無定型氮化硅粉體工藝的基礎(chǔ)上增加一個連續(xù)轉(zhuǎn)相熱處理裝置,所述裝置主要由推料器、前密封箱、中溫爐、高溫爐、冷卻帶以及后密封箱組成,在該裝置內(nèi)裝有可連續(xù)運動的多個盛粉容器,并以氨或氨與氮的混合氣為保護(hù)氣氛。采用本發(fā)明可連續(xù)、批量生產(chǎn)高α相氮化硅粉體;α相:95.5~97.5%;粒度分布特性:平均粒度D50=0.18μm~0.35μm,轉(zhuǎn)相后產(chǎn)品中的氧含量小于0.2%,殘留氯含量采用熒光X射線方法分析已經(jīng)檢測不到,從而有效提高了氮化硅粉體性能。
聲明:
“等離子體化學(xué)氣相法批量生產(chǎn)氮化硅粉體轉(zhuǎn)相工藝及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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