本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)藥液分配系統(tǒng)，包括：儲(chǔ)液罐，具有回液入口和出液口；化學(xué)藥液循環(huán)管線，一端與回液入口相連，另一端與出液口相連，該化學(xué)藥液循環(huán)管線上設(shè)有循環(huán)泵；化學(xué)藥液輸出管線，一端與化學(xué)藥液循環(huán)管線相連，另一端與工藝單元相連，該化學(xué)藥液輸出管線上設(shè)有流量計(jì)及閥門(mén)元件，該流量計(jì)用于檢測(cè)工藝單元輸入端的化學(xué)藥液流量；控制器，用于控制所述循環(huán)泵的轉(zhuǎn)速。其中，當(dāng)需將化學(xué)藥液輸送到所述工藝單元、且所述閥門(mén)元件切換為使所述流量計(jì)與所述工藝單元之間的傳輸路徑連通之前，所述控制器根據(jù)當(dāng)前流量計(jì)檢測(cè)的化學(xué)藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉(zhuǎn)速。本發(fā)明能夠在寬范圍內(nèi)調(diào)節(jié)工藝單元所需的工藝流量。