本發(fā)明提出一種化學機械研磨機臺研磨壓力補償方法,包括下列步驟:在研磨過程中,根據研磨盤的行程檢測研磨墊厚度變化;針對研磨墊不同厚度,對研磨壓力進行調節(jié)。本發(fā)明提出的化學機械研磨機臺研磨壓力補償方法,通過設置于研磨盤上的傳感器測量研磨盤的行程,并通過研磨盤在研磨過程中實際行程與換新研磨墊時的原始行程數值的差值計算研磨墊厚度變化,并根據研磨墊厚度變化對研磨壓力進行調節(jié)。本發(fā)明針對研磨墊厚度的變化,進行壓力調節(jié),保證研磨速率穩(wěn)定。
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