本實(shí)用新型公開了用于真空等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的液體高溫氣化裝置,屬于化學(xué)物質(zhì)技術(shù)領(lǐng)域,包括機(jī)架和熱藥罐,所述位于機(jī)架正面的左側(cè),所述熱藥罐頂部的正面前設(shè)置有注藥管,通過(guò)設(shè)置熱藥罐和高溫流量計(jì)的配合,能夠控制熱藥罐的加熱溫度,使熱藥罐內(nèi)藥液以恒定速率蒸發(fā),保持熱藥罐壓力在合適范圍內(nèi)能夠精準(zhǔn)控制氣體流量,保證產(chǎn)品膜厚均勻,達(dá)到不同膜厚要求,并且操作簡(jiǎn)單,通過(guò)簡(jiǎn)單設(shè)定參數(shù)即可達(dá)到使用目的整體液體高溫氣化裝置體積小,熱藥快,開機(jī)后通過(guò)自檢程序后即可開始使用,同時(shí)節(jié)約能源,功率低,消耗能量少,通過(guò)設(shè)置電磁控制閥和清洗進(jìn)氣管的配合使裝置自帶清洗功能,保證精密元器件長(zhǎng)期使用不損壞。
聲明:
“用于真空等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的液體高溫氣化裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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