本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)研磨液氮壓的供應(yīng)裝置，具體涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該裝置主要包括骨架、操控面板、排氣裝置、化學(xué)研磨液混合供應(yīng)裝置、液泵、研磨液氮壓儲(chǔ)存容器、壓力監(jiān)測(cè)表。骨架是由不銹鋼方鋼和聚苯烯的板材焊接及機(jī)械連接而成；排氣裝置是用于釋放研磨液氮壓儲(chǔ)存容器的壓力，起到穩(wěn)壓的作用；化學(xué)研磨液混合供應(yīng)裝置是用于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)研磨液配比及臨時(shí)儲(chǔ)存；液泵用于輸送儲(chǔ)存在化學(xué)研磨液混合供應(yīng)裝置的研磨液。本實(shí)用新型提供了一種通過(guò)壓縮氮?dú)猱a(chǎn)生動(dòng)力的輸送裝置，解決了半導(dǎo)體加工時(shí)研磨液的供應(yīng)流量輸出不穩(wěn)定的問(wèn)題，使研磨液的供應(yīng)變平穩(wěn)、設(shè)備故障率低、維護(hù)簡(jiǎn)單。