電渦流金屬膜厚度終點(diǎn)檢測裝置,屬于集成電路化學(xué)機(jī)械拋光工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括電渦流傳感器、導(dǎo)電滑環(huán)、導(dǎo)電定環(huán)、多頻信號發(fā)生單元、前置電路以及含有數(shù)據(jù)處理與控制程序的計(jì)算控制單元。電渦流傳感器安裝在拋光機(jī)的拋光臺內(nèi)且與工件對應(yīng)的拋光墊下方的一個階梯孔內(nèi),該電渦流傳感器包括線圈、殼體和壓緊螺母。多頻信號發(fā)生器為電渦流傳感器提供激勵信號;因金屬膜厚度變化引起的電渦流傳感器的電感變化信號經(jīng)前置電路、導(dǎo)電滑環(huán)和導(dǎo)電定環(huán)輸入到計(jì)算控制單元。本發(fā)明可克服由振動引起的提離值變化對終點(diǎn)檢測的影響,提供準(zhǔn)確的終點(diǎn)檢測;同時(shí)電渦流傳感器安裝拆卸方便,且可解決因電渦流傳感器的安裝間隙所引起的拋光液的滲漏問題。
聲明:
“電渦流金屬膜厚度終點(diǎn)檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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