提供了一種定量監(jiān)測(cè)在化學(xué)工藝中氣相材料的方法,其包括提供含一種或多種所關(guān)注的反應(yīng)物氣體的氣體進(jìn)料物流;使氣體進(jìn)料物流暴露于拉曼光譜裝置的相干輻射;獲得在氣體進(jìn)料物流內(nèi)的每種氣體組分的拉曼光譜信號(hào);分析該光譜信號(hào)以確定每種氣體組分的存在和濃度;和顯示分析的結(jié)果。在一個(gè)實(shí)施方案中,該方法用于定量監(jiān)測(cè)在生產(chǎn)高純度硅工藝中的氣相材料。
聲明:
“使用拉曼光譜法定量測(cè)量氣相工藝中間體” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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