本發(fā)明公開了一種高低溫探針臺(tái)測試裝置,高低溫探針臺(tái)測試裝置包括:底座、冷熱臺(tái)組件和多個(gè)探針組件。底座限定出盛放腔;底座設(shè)置有循環(huán)冷媒接口,冷熱臺(tái)組件設(shè)置于底座且對被測元件進(jìn)行升溫及降溫,冷熱臺(tái)位于盛放腔內(nèi);多個(gè)探針組件設(shè)置于盛放腔。由此,通過底座、冷熱臺(tái)組件和多個(gè)探針組件配合,冷熱臺(tái)組件能夠?qū)Ρ粶y元件升溫和降溫,可以為被測元件提供一個(gè)變化的熱場,并且,多個(gè)探針組件可同時(shí)對多個(gè)被檢測元件的電學(xué)、
電化學(xué)等參數(shù)進(jìn)行檢測,可以提升高低溫探針臺(tái)測試裝置的檢測效率,同時(shí),高低溫探針臺(tái)測試裝置可以與多種測試儀器連用,滿足材料測試的不同測試條件,具有節(jié)能、多功能、微型化、快速升降溫等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“高低溫探針臺(tái)測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)