本發(fā)明公開硅納米線—氧化鎢納米線刷狀多級(jí)結(jié)構(gòu)及其制備方法和在探測(cè)二氧化氮中的應(yīng)用,使用金屬輔助化學(xué)刻蝕法刻蝕單晶硅以形成硅納米線陣列,再進(jìn)行稀疏粗糙化處理后進(jìn)行沉積鎢薄膜材料層,升溫以生長(zhǎng)一維氧化鎢納米線,最后進(jìn)行鉑電極制備。本發(fā)明的硅納米線/氧化鎢納米線復(fù)合異質(zhì)多級(jí)結(jié)構(gòu)氣敏敏感元件在室溫下工作,且對(duì)二氧化氮具有很好的響應(yīng),在氣體傳感器與集成電路工藝兼容,延長(zhǎng)傳感器壽命,節(jié)約能耗,以及危險(xiǎn)氣體檢測(cè)方面具有很重要的研究?jī)r(jià)值。
聲明:
“硅納米線—氧化鎢納米線刷狀多級(jí)結(jié)構(gòu)及其制備方法和在探測(cè)二氧化氮中的應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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