本發(fā)明提供CVD沉積速率、產(chǎn)物織構(gòu)和質(zhì)量跨尺度預(yù)測方法，S1建立反應(yīng)器幾何模型和劃分網(wǎng)格；添加材料屬性；S2建立多物理場模型，建立流體傳熱和層流模型，計算溫度場和流場；S3建立化學(xué)和多組分物質(zhì)傳遞模型，將先驅(qū)體氣體反應(yīng)輸入模型，計算化學(xué)反應(yīng)和濃度場分布；S4計算沉積表面濃度，與上一次總迭代計算的結(jié)果進行對比，滿足收斂要求，流程結(jié)束；否則將表面濃度結(jié)果輸入KMC模型進行下一次迭代；S5構(gòu)建原子結(jié)構(gòu)，確定表面反應(yīng)；S6計算吸附、擴散速度，確定一步的原子結(jié)構(gòu)與反應(yīng)時間；S7若原子結(jié)構(gòu)滿足要求厚度，則返回S2；否則返回S5繼續(xù)迭代計算。在本發(fā)明的基礎(chǔ)上進行沉積工藝參數(shù)的優(yōu)化，得到沉積產(chǎn)物織構(gòu)可控，質(zhì)量好的CVD產(chǎn)品。