本發(fā)明公開了一種氮化鎵基可見/紫外雙色光電探測器,該探測器包括在襯底上通過外延生長依次垂直集成二個光電二極管,其中一個為可見光光電二極管,另一個為紫外光電二極管。它是利用氮化鎵基材料:AlN、AlGaN、GaN、InGaN的禁帶寬度依次減小,并且它們的禁帶寬度隨化學(xué)組分發(fā)生變化,通過控制材料以及組分,從而控制禁帶寬度,實現(xiàn)器件敏感波段的選取,達(dá)到雙色光電探測的目的。本發(fā)明的探測器的最大優(yōu)點是在一個焦面上可同時實現(xiàn)兩個波段的光電探測,使光電探測儀器省略分色裝置,提高儀器的不同波段圖像配準(zhǔn)精度和可靠性。
聲明:
“氮化鎵基可見/紫外雙色光電探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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