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具有納米異質(zhì)復(fù)合結(jié)構(gòu)的紫外光探測(cè)器及其制備方法

810   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:28:45
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于TiO2/ZnO納米異質(zhì)復(fù)合結(jié)構(gòu)的紫外光探測(cè)器結(jié)構(gòu),其最底層為基底材料,其上為叉指電極,并覆蓋一層ZnO薄膜,薄膜之上為ZnO納米棒,納米棒表面為T(mén)iO2納米結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開(kāi)了所述紫外光探測(cè)器的制備方法:(1)在基底薄片上鍍上金屬電極形成叉指電極;(2)鍍上ZnO薄膜;(3)合成ZnO納米棒陣列;(5)在ZnO納米棒表面形成TiO2納米結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的紫外光探測(cè)器在保持ZnO紫外探測(cè)器超高光電流增益的同時(shí)引入TiO2納米結(jié)構(gòu),形成異質(zhì)結(jié)能夠消除ZnO表面氧空穴陷阱態(tài)的影響,同時(shí)加快載流子分離減少?gòu)?fù)合,必然顯著提高探測(cè)器的靈敏度和光電流增益,此外TiO2的包裹將顯著提高探測(cè)器的化學(xué)穩(wěn)定性。
聲明:
“具有納米異質(zhì)復(fù)合結(jié)構(gòu)的紫外光探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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