本發(fā)明涉及硅襯底的濕法化學(xué)處理領(lǐng)域。本發(fā)明尤其涉及一種用于測定水性處理液中的硝酸濃度的方法,所述水性處理液用于處理諸如由硅制成的襯底。該方法是基于使用消除劑的UV光譜法/光度法進(jìn)行的硝酸根離子的測定,所述消除劑有效除去由其他物質(zhì)引起的干擾吸收。硝酸根離子的濃度對應(yīng)于硝酸的濃度。根據(jù)本發(fā)明,提供一種確實(shí)的方法,使用該方法可以非常精確地測定酸混合物中的硝酸的含量,特別是在未使用的酸混合物中,對應(yīng)于使用目的而使用過的酸混合物中也可以同樣測定。
聲明:
“測定硝酸濃度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)