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基于稀土氧化物閃爍體/半導體復合薄膜的X射線探測器的制備方法

1088 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:28:47

本發(fā)明公布了一種基于稀土氧化物閃爍體/半導體復合薄膜的X射線探測器的制備方法，該方法通過溶液電化學沉積制備的復合薄膜均勻致密，其中稀土氧化物閃爍體薄膜對X射線具有很好的響應，產(chǎn)生熒光；光電響應半導體沉積在其中稀土氧化物閃爍體薄膜的表面，能受熒光激發(fā)產(chǎn)生明顯的光電流響應，同時沉積在光電響應半導體周圍的導電體能傳輸光生載流子，能通過光電流判斷環(huán)境X射線的存在和輻照度。所制備的X射線探測器包括熒光反射層、透明導電玻璃襯底、稀土氧化物閃爍體薄膜、光電探測薄膜和SiO₂保護薄膜。本發(fā)明制備工藝簡單、原料易得、成本低，可在近室溫常壓下制備，在高能射線和高能粒子探測領域具有廣泛的應用前景。

聲明：

“基于稀土氧化物閃爍體/半導體復合薄膜的X射線探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)