本發(fā)明涉及一種用于測量半導(dǎo)體晶片溫度的傳感器位置調(diào)整裝置及其方法，其中，裝置包括：支架；第一固定部件，其插入至形成于支架的第一結(jié)合孔；第二固定部件，其插入至形成于支架的第二結(jié)合孔，對(duì)溫度傳感器進(jìn)行固定；位置調(diào)整部件，其設(shè)置于第二固定部件下面，對(duì)溫度傳感器進(jìn)行固定支撐；溫度傳感器；夾具，用于對(duì)溫度傳感器的感知位置進(jìn)行調(diào)整；控制器，其設(shè)置有晶片表面監(jiān)控系統(tǒng)，晶片表面監(jiān)控系統(tǒng)將溫度傳感器拍攝的表面溫度分為多個(gè)頻道并通過顯示器顯示。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，在從半導(dǎo)體晶片表面去除金屬污染物質(zhì)和有機(jī)污染物質(zhì)的過程中，實(shí)時(shí)識(shí)別到晶片表面由于化學(xué)反應(yīng)和摩擦達(dá)到一定溫度以上，從而使得晶片不良率減少，進(jìn)而提高收率。