本發(fā)明公開了一種多通道濾波陣列MEMS光譜式氣敏傳感器,通過分析待測氣體的紅外透射譜,確定所測氣體的種類和濃度,該傳感器由制作在硅襯底上的光源(1)、氣室(2)、一維光子晶體濾波陣列(3)、紅外光強(qiáng)檢測陣列(4)構(gòu)成,其中,光源(1)發(fā)出的紅外光進(jìn)入氣室(2),與待測氣體相互作用后,通過一維光子晶體濾波陣列(3)不同的濾波通道出射;各濾波通道出射的光強(qiáng)信號在紅外光強(qiáng)檢測陣列(4)對應(yīng)的不同檢測單元上分別轉(zhuǎn)化為電信號輸出,不同位置的檢測單元輸出的信號強(qiáng)度體現(xiàn)了待測氣體對不同波長的紅外光的吸收情況,通過測量待測氣體的透射譜,并與預(yù)存圖譜特征比較,借助化學(xué)計量學(xué)算法,可判斷氣體成分并確定其濃度。
聲明:
“多通道濾波陣列MEMS光譜式氣敏傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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