基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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用于指導外延工藝的方法及其系統(tǒng)

1000 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:31:45

本發(fā)明通過獲取與外延生長設備相關的一或多種硬件設計參數(shù)和外延工藝參數(shù)，將之構成參數(shù)值集合，并基于物理和/或化學理論原理，對參數(shù)間數(shù)學關系進行分析和判定提煉，輔以處理和存儲的系統(tǒng)，用圖譜的形式預測外延工藝的一種方法；其中，圖譜通過多個參數(shù)組合取值區(qū)域分別描述反應腔的一或多個物理場、化學場、或者耦合場的多個變化形態(tài)。而且，圖譜中包含用于示出生長有利的合理參數(shù)組合取值區(qū)域的界線。通過多條件集合的“面”技術而非單個條件的“點”技術，定出合理參數(shù)組合的外延工藝窗口。指導研發(fā)或生產(chǎn)工藝運行，避開不利于生長的區(qū)域，從而有效提高生長效率、降低有害沉積(保持腔體干凈、延長維護周期)，加快新型設備的成型和量產(chǎn)。

聲明：

“用于指導外延工藝的方法及其系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)