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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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表面形貌仿真的方法及系統(tǒng)

904 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:31:46

本發(fā)明公開了一種表面形貌仿真的方法及系統(tǒng)，包括：(1)實時獲取晶圓與研磨墊接觸區(qū)域的彈性形變量；(2)根據(jù)所述彈性形變量計算所述接觸區(qū)域內研磨墊與晶圓之間的接觸力；(3)根據(jù)所述接觸力計算所述晶圓表面的研磨去除率；(4)根據(jù)所述研磨去除率更新晶圓表面形貌；重復執(zhí)行上述步驟(1)至步驟(4)，直至達到預定研磨效果。由于本發(fā)明采用了微元受力分析模型，并且研磨墊彈性形變完全符合所述微元應力分析模型的彈性形變條件，保證了獲取的晶圓接觸力精準性，根據(jù)所述晶圓接觸力獲取的研磨去除率更精準。同時該方法計算簡潔，可以用于實時預測化學機械研磨過程中晶圓表面形貌仿真。

聲明：

“表面形貌仿真的方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)