本發(fā)明公開了一種顯影液控制系統(tǒng),其包括有通過管道與顯影液儲槽單元連通的化學(xué)和水供應(yīng)單元,用于檢測所述顯影液儲槽單元內(nèi)顯影循環(huán)液中顯影劑濃度與光刻膠濃度的顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元,在連通所述化學(xué)和水供應(yīng)單元與所述顯影液儲槽單元之間的管道上增設(shè)有控制單元,所述控制單元分別通過管道及信號數(shù)據(jù)傳輸線與所述顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元連通,對所述顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元進(jìn)行校準(zhǔn)處理,并根據(jù)所述顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元反饋的信息控制所述化學(xué)和水供應(yīng)單元向所述顯影液儲槽單元輸入去離子水或/和濃純顯影液。具有實時監(jiān)測與控制的功能,還具有校準(zhǔn)功能,可以確保產(chǎn)品的合格率。
聲明:
“顯影液控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)