本發(fā)明具體涉及到一種新型微加熱器,其結(jié)構(gòu)包括:承載玻璃片、鍍金導(dǎo)電涂層、加熱單元(鍍鉻涂層)、電極柱和鋁制熱沉平臺。本發(fā)明采用軟光刻微加工技術(shù)對鍍有金-鉻的玻璃片進(jìn)行加工,實現(xiàn)一個加熱片上具備可并行工作的多個加熱單元;采用直流電源獲得焦耳熱,應(yīng)用鋁制熱沉平臺進(jìn)行有效散熱,以實現(xiàn)快速的響應(yīng)和穩(wěn)定的溫度控制。本發(fā)明體積微小,易于與光學(xué)系統(tǒng)相結(jié)合以實現(xiàn)實時觀測,且耗能低至毫瓦級。本發(fā)明不僅能夠?qū)崿F(xiàn)微米尺度面積上溫度的局部控制,而且易于與微流動系統(tǒng)高度集成,實現(xiàn)在生物和化學(xué)領(lǐng)域高通量分析。
聲明:
“新型微加熱器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)