本發(fā)明公開了一種研磨墊調(diào)節(jié)裝置,用于控制鉆石研磨盤清理化學(xué)研磨機(jī)臺(tái)研磨墊上的雜質(zhì),包括附著鉆石研磨盤的托盤、軸、支臂和基座,該裝置還包括霍爾傳感器、永磁體和微處理器;永磁體,內(nèi)嵌安裝于托盤上,用于產(chǎn)生磁通量信號(hào);霍爾傳感器,安裝于支臂上,與永磁體相對(duì)配置,用于在托盤旋轉(zhuǎn)時(shí),接收所述永磁體產(chǎn)生的磁通量信號(hào),將所述磁通量信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào);微處理器,用于讀取所述電信號(hào),對(duì)電信號(hào)進(jìn)行分析處理,獲得鉆石研磨盤的轉(zhuǎn)速和在垂直方向上的位置信息。采用本發(fā)明的裝置能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測鉆石研磨盤的轉(zhuǎn)速和位置。