本發(fā)明涉及一種濕法處理設(shè)備中真空吸盤防堵塞系統(tǒng),包括真空吸盤、氣源、連接所述真空吸盤與氣源的管路單元;所述管路單元區(qū)分為真空負(fù)壓產(chǎn)生單元與真空管道清掃單元;所述真空管道上裝有用于檢測(cè)所述真空管道的氣體壓力的壓力傳感器;還包括一控制器,用于控制所述真空負(fù)壓產(chǎn)生單元執(zhí)行使連接所述真空吸盤的真空管道內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓的功能,并通過(guò)所述壓力傳感器檢測(cè)所述真空管道內(nèi)的氣壓值,當(dāng)檢測(cè)到所述氣壓值低于設(shè)定值時(shí)控制所述真空管道清掃單元執(zhí)行引入壓縮空氣對(duì)所述真空管道進(jìn)行清掃的功能。本發(fā)明通過(guò)引入壓縮空氣對(duì)真空管道清掃而使真空管道不會(huì)造成堵塞,因而不僅可吸附干燥的晶圓片,且能可靠地吸附沾有化學(xué)液的濕晶圓片。
聲明:
“濕法處理設(shè)備中真空吸盤防堵塞系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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