本發(fā)明提供了微流體裝置,其由材料層和在該材料層之中或其上形成的具有至少一個(gè)小于500μm的特征尺寸的流體輸送部件組成,所述材料層主要在耐化學(xué)性、熱穩(wěn)定性和生物相容性上有改善。耐化學(xué)性、熱穩(wěn)定性和生物相容性多層涂層提供在微流體裝置上并與之接觸,其中所述多層涂層包含主要由氧化鉿或氧化鋯構(gòu)成的一個(gè)或多個(gè)薄膜層和主要由氧化鉭構(gòu)成的一個(gè)或多個(gè)薄膜層,所述多層涂層位于流體輸送部件的表面上。本發(fā)明中使用的耐腐蝕性膜是特別有利的,因?yàn)槠淠軌蚴褂卯a(chǎn)生覆蓋復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu)的共形膜的原子層沉積膜形成法在微流體裝置的流體輸送部件的表面上形成,從而使耐腐蝕性膜能夠在與反應(yīng)物、分析物、油墨或在微流體裝置中使用的其他流體接觸的微流體裝置的流體輸送部件的所有表面上形成。
聲明:
“具有多層涂層的微流體裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)