本發(fā)明公開了一種VPD用金屬回收液及其配制方法。該金屬回收液中按質(zhì)量百分比計(jì)的成分配比為:鹽酸0.4%、雙氧水3.5%-5%、余量的純水。其配制方法是:選擇原料鹽酸、雙氧水和純水,按照配比配制,回收液配制完成后要用ICP-MS進(jìn)行金屬含量測試,標(biāo)準(zhǔn)是低于ICP-MS的檢測極限。本發(fā)明的金屬回收液對(duì)金屬的回收主要通過HCl和H2O2與硅片的化學(xué)反應(yīng)來實(shí)現(xiàn),HCL可以通過絡(luò)合反應(yīng)將硅片表面的金屬直接吸收到溶液中,同時(shí)H2O2會(huì)將硅片表面產(chǎn)生輕微的氧化,氧化層中的金屬也被HCL收集到溶液中,相當(dāng)于將硅片近表層的金屬同時(shí)收集,提高了測試的可信度。
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