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乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝

995   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:04:04
本發(fā)明涉及一種乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝,該乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝包括檢測與所述反應(yīng)釜連接的吸附管道的底面內(nèi)壁上設(shè)置的壓力感應(yīng)器的在預(yù)設(shè)時間周期內(nèi)的數(shù)值變化,所述反應(yīng)釜上還設(shè)置有氣體出口,將第一反應(yīng)溶液和第二反應(yīng)溶液進行化學(xué)反應(yīng)生成的生成物利用氣體出口通過導(dǎo)氣管導(dǎo)入吸附管道內(nèi);根據(jù)所述數(shù)值變化,調(diào)節(jié)設(shè)置在第一進液口上的第一閥和設(shè)置在第二進液口上的第二閥,所述第一閥、所述第二閥和所述壓力感應(yīng)器分別與控制單元連接,所述控制單元設(shè)置在所述反應(yīng)釜的外壁上,以調(diào)節(jié)所述反應(yīng)釜內(nèi)第一反應(yīng)溶液和第二反應(yīng)溶液的添加量。本發(fā)明可以提高乙硅烷的產(chǎn)出率其能夠提高純度。
聲明:
“乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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