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微米粒徑有機無機雜化鈣鈦礦薄膜的制備裝置及方法

912 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:56:36

一種微米粒徑有機無機雜化鈣鈦礦薄膜的制備裝置，包括真空腔體、上熱臺、下熱臺、真空泵和電學測量裝置，真空腔體設有抽氣接口和接線接口，上熱臺和下熱臺相互平行設置于真空腔體下部并通過支撐板與真空腔體底部固定，真空泵利用抽氣接口通過真空管道及閥門與真空腔體連通，電學測量裝置利用接線接口通過導線與下熱臺上的ITO玻璃片上溝道的兩端連接；利用該裝置，采用低真空度下相互平行熱臺進行的低壓化學氣相沉積法工藝制備有機無機雜化鈣鈦礦薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點是：該制備方法提高了蒸氣分子流的向基板方向輸運的均勻度，制備的薄膜均勻度高、粒徑大，進程可控，提高了生成薄膜的光電性能，適合大規(guī)模及柔性薄膜的生產(chǎn)。

聲明：

“微米粒徑有機無機雜化鈣鈦礦薄膜的制備裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)