本申請涉及用于減少缺陷的拋光組合物及其使用方法。化學(xué)機(jī)械拋光組合物包含磨料、第一去除速率增強(qiáng)劑和水,其中當(dāng)使用0.2μm的面元尺寸測量時,拋光組合物對于以下關(guān)系具有小于800000的值:大顆粒計數(shù)/磨料重量百分比。
聲明:
“用于減少缺陷的拋光組合物及其使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)