本發(fā)明涉及基于AFM原子力掃描顯微鏡技術(shù),公開了一種面向納米觀測(cè)及納米操作無(wú)損自動(dòng)逼近方法及裝置,本發(fā)明通過(guò)控制步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)樣品臺(tái)上升,利用激光接收器檢測(cè)信號(hào)來(lái)判斷樣品是否運(yùn)動(dòng)到預(yù)定位置,完成逼近初調(diào);然后控制壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器向上逼近,通過(guò)檢測(cè)光電傳感器來(lái)判斷樣品是否接觸探針,來(lái)完成最終逼近。本發(fā)明可以有效解決在樣品逼近過(guò)程中樣品厚度對(duì)逼近過(guò)程中的影響,減少逼近過(guò)程中對(duì)探針及樣品表面的破壞損傷。
聲明:
“面向納米觀測(cè)及納米操作無(wú)損自動(dòng)逼近方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)