本發(fā)明公開了一種大口徑光學(xué)元件表面缺陷的檢測分類方法及裝置，利用一束強(qiáng)照明光束和一束弱照明光束照射大口徑光學(xué)元件，強(qiáng)照明光束與吸收缺陷相作用激發(fā)產(chǎn)生熒光，弱照明光束與非吸收缺陷相作用引起光束的散射，通過對(duì)熒光和散射光的分別檢測來獲得大口徑光學(xué)元件吸收缺陷和非吸收缺陷的信息。本發(fā)明中，采用內(nèi)全反射式的照明方式，對(duì)大口徑光學(xué)元件內(nèi)部多個(gè)區(qū)域同時(shí)進(jìn)行照明檢測，提高了檢測效率。本發(fā)明在檢測端，采用焦深小的成像系統(tǒng)或利用共聚焦成像的方法，只對(duì)表面及亞表面缺陷進(jìn)行檢測。本發(fā)明適用于光學(xué)無損探傷、光學(xué)精密檢測、光學(xué)顯微成像與缺陷分析、特別適用于強(qiáng)激光系統(tǒng)內(nèi)的大口徑透明光學(xué)元件表面及亞表面缺陷檢測等多個(gè)領(lǐng)域。