本發(fā)明涉及核聚變與光學(xué)診斷領(lǐng)域，特別涉及一種檢測(cè)托卡馬克鎢第一壁灰塵沉積層成分及厚度的裝置，包括：太赫茲波發(fā)射裝置、太赫茲波探測(cè)裝置、激光測(cè)距探頭、測(cè)溫探頭、太赫茲時(shí)域-頻域轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)據(jù)庫(kù)模塊、結(jié)果輸出模塊；所述激光測(cè)距探頭、測(cè)溫探頭與數(shù)據(jù)庫(kù)模塊數(shù)據(jù)連接；所述太赫茲波發(fā)射裝置向托卡馬克鎢第一壁探測(cè)區(qū)域射入太赫茲波，托卡馬克鎢第一壁探測(cè)區(qū)域反射回的太赫茲波由太赫茲波探測(cè)裝置接收，太赫茲波探測(cè)裝置與太赫茲時(shí)域-頻域轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)據(jù)庫(kù)模塊、結(jié)果輸出模塊依次數(shù)據(jù)連接。本發(fā)明利用反射太赫茲時(shí)域譜技術(shù)結(jié)合計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)，能夠在線、同步且無(wú)接觸無(wú)損傷的檢測(cè)托卡馬克鎢第一壁灰塵沉積層成分及厚度。